ガラスMEMS

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ガラスMEMS製品

各種の成膜技術やフォトリソ・パターニング技術を応用してガラスへの微細加工を施すガラスMEMS製品を扱っており、このガラスMEMS製品の成長が今後期待されております。その一つは近年注目されておりますライフサイエンス用途のバイオ解析に使用されるガラスの微細加工を用いたDNA-CHIPです。そのチップはラボラベルの小型DNA-CHIPから高性能ゲノム解析用の大型DNA-CHIPまであります。

また、様々なモバイル機器の小型化・高性能化がIT社会の進化を押し進めています。ハイエンドLSIや3Dチップへの鉛フリーのハンダバンププロセスに使われるガラスMOLDなども製造・販売しております。

また、各種電子デバイス向けに薄膜加工を行っておりますCr・ノンCrに加え、Au・Ag・Cu・Ti・Ta・AI・SiO・試作から量産まで対応しております。

ガラス・モールド Glass Mold

特徴

アルバック成膜ではガラス表面にフォトリソプロセス(洗浄・成膜・露光・ケミカルエッチング)により高精密・低欠陥なMoldを提供します。

用途

CPUなどのハイエンドLSIや多層構造の3D半導体チップへの鉛フリーのハンダバンププロセスに使われています。

C4NP用モールド

C4NP用モールド

マイクロキャビティ(ウェットエッチング加工)

マイクロキャビティ(ウェットエッチング加工)

バイオチップ、マイクロ化学チップ

特徴

アルバック成膜のガラスMEMSはガラス材料を用いて表面にフォトリソプロセス(MEMS技術を駆使した微細加工技術により)にて超精密な “電極アレー” “溝” や “穴” を加工します。ガラスMEMS(マイクロ・エレクトロ・マシン・システム)では、オングストローム(1/1千万mm) オーダーの成膜技術とミクロン(1/1000mm)オーダーの精密加工技術、 ガラスの物性を生かし各種先端分野で使われる機能部品を製造しております。 ガラスMEMSの一部には、バイオ関連のDNA-CHIPやμ−TASと呼ばれている化学分析CHIPがあります。

用途

ガラスMOLD・BIO chip etc

バイオ・チップ(薄膜電極加工)

バイオ・チップ(薄膜電極加工)

DNA-CHIP(ウェットエッチング+ドリル加工)

DNA-CHIP(ウェットエッチング+ドリル加工)

ガラスMEMS

ガラスMEMS

マイクロキャピラリー-CHIP(マイクロブラスト加工)

マイクロキャピラリー(マイクロブラスト加工)

マイクロ化学・チップ(ウェットエッチング+ドリル+貼り合わせ加工)

マイクロ化学・チップ(ウェットエッチング+ドリル+貼り合わせ加工)

薄膜製品 film coating

薄膜製品

薄膜製品

特徴

アルバック成膜ではスパッター法を用いてガラス基板へ各種材料の成膜をしています。

材料

主な材料として、Cr、Cu、Ti、Ta、Al、Al-Si、Au、Ag、W、Ni、Si、SiO2、MoSi 他、その他ご要望が御座いましたらご相談下さい。

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パターン製品 Patterning

パターニング

パターニング

特徴

アルバック成膜では各種薄膜製品をさらにをフォトリソプロセスを用いてパターニング加工いたします。