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マスクブランクス
大型マスクブランクス
ファンクショナルデバイス
MEMSファンドリー

最先端の大型マスクブランクス製造

大型マスクブランクスイメージ

 ますます大型化され、今やブラウン管に代わり主流となった TFT-LCD や PDP などのフラットパネルディスプレイ。これらのディスプレイは日本を始めアジアの国々が世界をリードしています。
 製造に不可欠な大型マスクブランクス Large Mask Blanks の多くはアルバック成膜ULCOATが供給しており、高い評価を得ています。微細化製造技術と、大型化に伴う自動化技術は長年の経験を生かした社内設計によるものです。

大型クロムマスクブランクス

特徴
 アルバック成膜のマスクブランクスは PH・パ−ティクル等欠陥が少ないハイグレ−ドのマスクブランクスで微細パタ−ンに対応した製品です。
優れた光学特性
 また光学特性( OD・R・ET )に関しては、面内バラツキが、少ない製品です。
レジスト塗布
 均一な膜厚特性を持つ製品です。
サイズ
MAX サイズ:2100mm×2500mm
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大型ハーフトーンマスクブランクス

低透過率から高透過率まで対応可能なハーフトーンマスクブランクスの製造
 CFパネルの製造コストを削減するために使用される、ハーフトーンマスク。
 当社ではこのハーフトーンマスクを製造するために使用される「ハーフトーンマスクブランクス」を、製造することができます。
サイズ
MAX サイズ:2100mm×2500mm
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