半導体マスクブランクス、大型マスクブランクスの生産で培った豊富なガラス基板の加工技術を活用してガラスMEMSの試作、量産に対応致します。
アルバック成膜ULCOATは、半導体用Crマスクブランクス、フラットパネルディスプレイ用大型マスクブランクス、カラーフィルター用ブラックマトリクスの生産で培った豊富なガラス基板の加工技術を活用してガラスMEMSの試作・量産に対応いたします。
μ−TAS、マイクロ化学システム、DNAチップなどの微細なデバイスをガラス基板上に半導体技術を用いて形成します。
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)はマイクロマシン、MST(Micro System Technology)とも呼ばれ、半導体技術等を用いてシリコン基板、ガラス基板上に製作されたミクロン以下のサイズの微小なデバイスです。
ガラス基板を用いたMEMSデバイスを実現するため、各種製造プロセスをご提供いたします。
両面露光装置
EB露光装置
現像装置
線幅測長装置
スパッタリング成膜装置
ウェットエッチングベンチ
硼珪酸ガラス ウェットエッチ
ブラスト加工装置
ガラス基板接合用ベーク炉
無アルカリガラス、硼珪酸ガラス、石英などの各種ガラス基板の直接接合が可能です。
Scanning Electron Microscopy
Atomic Force Microscopy
オージェ電子分光
顕微ラマン