当社は、1979年（昭和54年）1月1日に日本真空技術（現：アルバック）のSI事業部が分離独立し、創業いたしました。
| 1970 | マスクブランクスの試作、開発に着手 |
|---|---|
| 1972 | 世界初、マスクブランクス販売開始 |
| 1973 | マスクブランクスの対米輸出を開始 （株）アルバック 旧称 日本真空技術（株）において |
| 1979 | アルバック成膜（株）として分離独立 本社・工場を秩父市の現在地に移す |
| 1986 | 九州真空冶金（株）、稲畑産業（株）と合併にて米国にIHT Corp.を設立 マスク用ドライエッチング装置を開発、販売開始 |
| 1988 | FPD（フラットパネルディスプレイ）カラーフィルター用クロム膜（BM）の製造を開始 |
| 1995 | 位相シフトマスクブランクスの製造を開始 |
| 2001 | 台湾現地法人 台灣成膜光電（股）有限公司 設立 |
| 2005 | （株）ファインサーフェス技術（ガラス研磨） 子会社化 |
| 2006 | ガラスMEMS商品の販売を開始 |
| 2010 | FPD用ハーフトーンマスクブランクスの販売を開始 |
| 2013 | FPD用位相シフトマスクブランクスの販売を開始 |
| 2018 | 中国現地法人 愛発科成膜技術（合肥）有限公司 設立 |